| 
					 集成電路(DRAM)集成度 
				 | 
					 16K 
				 | 
					 64K 
				 | 
					 256K 
				 | 
					 1M 
				 | 
					 4M 
				 | 
					 16M 
				 | |
| 
					 相鄰線距(μm) 
				 | 
					 4 
				 | 
					 2.2 
				 | 
					 1.8 
				 | 
					 1.2 
				 | 
					 0.8 
				 | 
					 0.5 
				 | |
| 
					 微粒 
				 | 
					 直徑(μm) 
				 | 
					 0.4 
				 | 
					 0.2 
				 | 
					 0.2 
				 | 
					 0.1 
				 | 
					 0.08 
				 | 
					 0.05 
				 | 
| 
					 個數(shù)(PCS/ml) 
				 | 
					 <100 
				 | 
					 <100 
				 | 
					 <20 
				 | 
					 <20 
				 | 
					 <10 
				 | 
					 <10 
				 | |
| 
					 細菌(CFU/100ML) 
				 | 
					 <100 
				 | 
					 <50 
				 | 
					 <10 
				 | 
					 <5 
				 | 
					 <1 
				 | 
					 <0.5 
				 | |
| 
					 電阻率(μs/cm,25℃) 
				 | 
					 >16 
				 | 
					 >17 
				 | 
					 >17.5 
				 | 
					 >18 
				 | 
					 >18 
				 | 
					 >18.2 
				 | |
| 
					 TOC(ppb) 
				 | 
					 <1000 
				 | 
					 <500 
				 | 
					 <100 
				 | 
					 <50 
				 | 
					 <30 
				 | 
					 <10 
				 | |
| 
					 DO(ppb) 
				 | 
					 <500 
				 | 
					 <200 
				 | 
					 <100 
				 | 
					 <80 
				 | 
					 <50 
				 | 
					 <10 
				 | |
| 
					 Na + (ppb) 
				 | 
					 <1 
				 | 
					 <1 
				 | 
					 <0.8 
				 | 
					 <0.5 
				 | 
					 <0.1 
				 | 
					 <0.1 
				 | |
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